Description principale de l'offre d'emploi :
Le travail sera réalisé sur les réacteurs de gravure 200 et 300mm du LTM localisés dans les salles blanches du CEA/Leti, le réacteur 300mm étant équipé des technologies de plasma pulsé :
-Développement de procédés de gravure en plasma pulsé de guides d'onde Si et SiN
-Comparaison des performances des procédés plasma continu et pulsé en terme morphologie des guides
-Développement de recuit adapté pour lisser davantage les guides ou modifier leurs propriétés optiques
-Développement de stratégie d'encapsulation de guides autres que le SiO2
-Caractérisation des pertes optiques des guides et comparaison des performances obtenues selon le procédé établi
-Valorisation des résultats sous forme d'articles ou de communications à des conférences
https://emploi.cnrs.fr/Offres/CDD/UMR5129-MARCLO-033/Default.aspx
